| 摘要 |
Eine Unterdrucksteuereinrichtung 20 steuert einen Unterdruck in einer Vakuumkammer 24 eines Vakuumverstärkers 12 auf Basis von Ausgabewerten P1, P2 von jeweiligen Unterdrucksensoren 50, 52. Ein Pumpenmotor 32 wird in Betrieb gesetzt, wenn ein kleinerer der Ausgabewerte P1, P2 der jeweiligen Unterdrucksensoren 50, 52 kleiner als ein erster Schwellwert Pthon ist. Ein Betrieb einer Vakuumpumpe bringt den Unterdruck in der Vakuumkammer 24 näher an ein Vakuum. Da der Pumpenmotor 32 auf Basis des kleineren der Ausgabewerte P1, P2 in Betrieb gesetzt wird, ist es möglich, ein Unterdruckdefizit in der Vakuumkammer 24 zu verhindern. Ferner kann sogar in dem Fall einer Funktionsstörung, wobei einer der Unterdrucksensoren 50, 52 einen Wert ausgibt, der größer als ein aktueller Druck ist, das Unterdruckdefizit reduziert werden. |
