发明名称 Laserbearbeitungsvorrichtung
摘要 Offenbart ist eine Laserbearbeitungsvorrichtung, beinhaltend einen ersten und Lasermechanismus, einen Laseroszillator zum Oszillieren eines ursprünglichen Laserstrahls, ein optisches System zum Aufteilen des ursprünglichen Laserstrahls in einen ersten und einen zweiten Laserstrahl, und eine erste und zweite Bedientafel zum jeweiligen Setzen einer ersten und zweiten Bearbeitungsbedingung für den ersten und zweiten Lasermechanismus. Der erste und zweite Lasermechanismus beinhaltet einen ersten und zweiten Einspanntisch zum Halten eines ersten und zweiten Werkstücks, eine erste und zweite X-Bewegungseinheit zum Bewegen des ersten und zweiten Einspanntischs in einer X Richtung, eine erste und zweite Y-Bewegungseinheit zum Bewegen des ersten und zweiten Einspanntischs in einer Y Richtung senkrecht zu der X Richtung und eine erste und zweite Fokuseinheit zum Fokussieren des ersten und zweiten Laserstrahls auf das erste und zweite Werkstück, die jeweils an dem ersten und zweiten Einspanntisch gehalten werden.
申请公布号 DE102016218865(A1) 申请公布日期 2017.03.30
申请号 DE201610218865 申请日期 2016.09.29
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 Tanaka, Kohei;Mannami, Hidetoshi;Fujisawa, Hisatoshi;Nomura, Hiroshi;Onoe, Wakana;Sawabe, Taiki
分类号 B23K26/067;B23K26/08;H01L21/301;H01L21/677 主分类号 B23K26/067
代理机构 代理人
主权项
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