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Reflektives optisches Element, insbesondere für eine Betriebswellenlänge im DUV- oder VUV-Wellenlängenbereich, aufweisend ein Substrat, ein dielektrisches Schichtsystem und eine metallische Beschichtung zwischen dem Substrat und dem dielektrischen Schichtsystem, dadurch gekennzeichnet, dass das dielektrische Schichtsystem (26) eine Schicht (L) aus einem Material mit einem niedrigeren Brechungsindex n1 bei der Betriebswellenlänge, eine Schicht (H) aus einem Material mit einem höheren Brechungsindex n2 bei der Betriebswellenlänge und eine Schicht (M) aus einem Material mit einem Brechungsindex n3 bei der Betriebswellenlänge aufweist mit n1 < n3 < n2, wobei an mindestens einem Übergang von einer Schicht (L) mit dem niedrigeren Brechungsindex n1 zu einer Schicht (H) mit dem höheren Brechungsindex n2 bzw. von einer Schicht (H) mit dem höheren Brechungsindex n2 zu einer Schicht (L) mit dem niedrigeren Brechungsindex n1 eine Schicht (M) mit einem mittleren Brechungsindex n3 angeordnet ist. |
