| 发明名称 | 晶圆测试时晶圆的对准方法、系统和晶圆 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆测试时晶圆的对准方法、系统和晶圆。其中，该方法包括以下步骤：加载待测试晶圆，其中，待测试晶圆具有由多个对准标记构成的标记阵列，且多个对准标记的宽度不同；通过测试装置对待测试晶圆进行扫描；以及当扫描到多个对准标记中的任一个时，对待测试晶圆进行对准。根据本发明实施例的晶圆测试时晶圆的对准方法，能够减小工艺波动对晶圆对准的影响，提高晶圆对准的成功率。 | ||
| 申请公布号 | CN106548953A | 申请公布日期 | 2017.03.29 |
| 申请号 | CN201510600978.6 | 申请日期 | 2015.09.18 |
| 申请人 | 比亚迪股份有限公司 | 发明人 | 吕业亮;俞琪云 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L23/544(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 张大威 |
| 主权项 | 一种晶圆测试时晶圆的对准方法，其特征在于，包括以下步骤：加载待测试晶圆，其中，所述待测试晶圆具有由多个对准标记构成的标记阵列，且所述多个对准标记的宽度不同；通过测试装置对所述待测试晶圆进行扫描；以及当扫描到所述多个对准标记中的任一个时，对所述待测试晶圆进行对准。 | ||
| 地址 | 518118 广东省深圳市坪山新区比亚迪路3009号 | ||