末端执行器

摘要

根据本发明的末端执行器（1）具备：手部（10）；设置于手部（10）基板保持部（11）；设置于手部的梢端部（10b）以及（10c）映射检测部（12）；设置于手部（10），产生检测光的发光部（13）；设置于手部（10），且接受检测光后将该检测光转换成电输出的受光部（14）；和以从发光部（13）发射的检测光通过其中并入射至受光部（14）的形式的光路（15）；光路（15）形成为如下结构：由映射检测部（12）检测出的卡匣（6）内的基板（W）遮挡检测光（B1），且保持于基板保持部（11）的基板（W）遮挡检测光（B2）。

主权项

一种末端执行器，具备：具有分叉为两部分的一对梢端部和缝隙的手部，该缝隙形成为在所述一对梢端部与基端部之间的通孔；设置于手部，用于保持第一基板的保持部；设置于所述手部的所述一对梢端部，且与容纳于卡匣内的第二基板相向并用于检测该第二基板的有无的映射检测部；设置于所述手部的基端部的背面侧，转换电输入而产生检测光的发光部；设置于所述手部的基端部的表面侧，且接受所述检测光后将该检测光转换成电输出的受光部；和以从所述发光部发射的所述检测光通过其中并入射至所述受光部的形式形成于所述手部的光路；所述光路形成为如下结构：保持于所述保持部的所述第一基板遮挡所述检测光，且由所述映射检测部检测出的所述第二基板遮挡所述检测光，所述光路包含从所述发光部延伸至所述手部的一方的梢端部的背面侧的第一导光区间、从所述第一导光区间的终端延伸至所述手部的另一方的梢端部的背面侧的第二导光区间、从所述第二导光区间的终端通过所述缝隙延伸至所述受光部的第三导光区间，所述第三导光区间的所述缝隙和所述受光部之间的部分，作为保持于所述保持部的所述第一基板遮挡所述检测光的第一检测区间，通过所述第二导光区间的所述一方的梢端部与所述另一方的梢端部之间的空间的部分，作为由所述映射检测部检测出的所述第二基板遮挡所述检测光的第二检测区间。