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共焦白光偏振干涉的多层透明介质厚度测量装置，该测量装置包括光源(3)，第一小孔(4)、第一透镜(5)，第二棱镜(14)和第三透镜(13)，其特征在于：所述光源(3)、所述第一小孔(4)、所述第一透镜(5)、所述第二棱镜(14)和所述第三透镜(13)的中心均在同一光轴上，其中，所述第一小孔设置在所述第一透镜(5)的前焦平面上，用于确保从光源发出的光穿过第一小孔后经第一透镜透射出去的光线为平行光，该平行光经所述第二棱镜(14)后被分为沿水平方向透射的测量光束和沿竖直上方反射的参考光束，被测物的待测面设置在所述第三透镜(13)的后焦面上，所述测量光束通过第三透镜(13)汇聚在所述待测表面上，然后原路反射到所述第二棱镜(14)上，接着被该第二棱镜(14)向竖直下方反射出去；所述第二棱镜(14)的竖直上方依次设置有第三棱镜(15)和倾斜的反射镜(16)，所述反射镜(16)和第三棱镜(15)的水平方向上还相对设置有位移台(2)，该位移台(2)中设置有角锥棱镜(1)，用于使所述参考光束横向偏移后照射到所述反射镜(16)上，所述第二棱镜(14)的竖直下方依次设置有第二透镜(11)和第一棱镜(10)，所述竖直方向设置的部件中心均在同一光轴上，所述参考光束经所述竖直上方设置的部件反射后被所述第二棱镜(14)竖直向下透射出去；所述第二透镜(11)的后焦平面上设置有第二图像传感器(9)或第二小孔(8)中的任何一个，另外一个设置在所述第一棱镜(10)水平方向的一侧，且其中心到所述第一棱镜(10)中心的距离与所述第一棱镜(10)中心到所述第二透镜(11)中心的距离之和为所述第二透镜(11)的焦距，所述第二小孔(8)的后方设置有第一图像传感器(7)，且所述第二小孔(8)、所述第一图像传感器(7)和所述第一棱镜(10)的中心在同一光轴上，所述第二图像传感器(9)用于显示所述测量光线和参考光线形成的光斑，所述第一图像传感器(7)用于显示所述测量光线和参考光线形成的干涉条纹，通过测量该干涉条纹计算所需透明介质的厚度。 |
