| 发明名称 | ZnO薄膜激光烧蚀制作方法 | ||
| 摘要 | ZnO薄膜激光烧蚀制作方法属于光学功能材料技术领域。现有用来制作ZnO薄膜的方法实施起来十分不易。本发明之ZnO薄膜激光烧蚀制作方法属于一种Sol‑Gel法，其特征在于，将乙酸锌溶于有机溶剂，加入与锌离子等物质量的乙醇胺，搅拌后得溶胶液；将所述溶胶液旋涂于基片上，低温热处理得凝胶膜；采用激光烧蚀所述凝胶膜，激光功率为5～30W，烧蚀时间为1～1000sec，激光光源出光口与凝胶膜之间的距离为1～50cm，得ZnO薄膜。相比于现有脉冲激光沉积法，本发明之方法既不需要真空环境，也不需要特殊的保护气氛，工艺条件比较宽松；不需要制作ZnO陶瓷靶，使得薄膜的制作方法大为简化。 | ||
| 申请公布号 | CN106548932A | 申请公布日期 | 2017.03.29 |
| 申请号 | CN201611053039.5 | 申请日期 | 2016.11.25 |
| 申请人 | 长春理工大学 | 发明人 | 刘全生;孙海鹰;米晓云;王能利;柏朝晖;张希艳;卢利平;王晓春 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/304(2006.01)I |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人 | 陶尊新 |
| 主权项 | 一种ZnO薄膜激光烧蚀制作方法，属于一种Sol‑Gel法，其特征在于，将乙酸锌溶于有机溶剂，加入与锌离子等物质量的乙醇胺，搅拌后得溶胶液；将所述溶胶液旋涂于基片上，低温热处理得凝胶膜；采用激光烧蚀所述凝胶膜，激光功率为5～30W，烧蚀时间为1～1000sec，激光光源出光口与凝胶膜之间的距离为1～50cm，得ZnO薄膜。 | ||
| 地址 | 130022 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号 | ||