一种半导体设备喷淋板加热板的滤波电路

摘要

本发明涉及滤波电路，具体地来讲为一种半导体设备喷淋板加热板的滤波电路。包括在功率输出端加载的AC滤波电路以及在温度采集输入端设置的TC滤波电路，所述AC滤波电路包括在输出电源的正负端分别设置串联的电感L5、电感L6和串联的电感L7和电感L8，在电感L5和电感L6之间通过电容C13接地，在电感L7和电感L8之间通过电容C14接地，电感L6与电感L8之间连接加热电阻R5，本发明交流干扰信号大部分将被电感阻止吸收变成磁感和热能，剩下的大部分被电容旁路到地，这就可以抑制干扰信号的作用，在输出端就获得比较纯净的交流电。

主权项

一种半导体设备喷淋板加热板的滤波电路，其特征在于，包括在功率输出端加载的AC滤波电路以及在温度采集输入端设置的TC滤波电路，所述AC滤波电路包括在输出电源的正负端分别设置串联的电感L5、电感L6和串联的电感L7和电感L8，在电感L5和电感L6之间通过电容C13接地，在电感L7和电感L8之间通过电容C14接地，电感L6与电感L8之间连接加热电阻R5。