发明名称 | 太阳能电池的制备方法 | ||
摘要 | 本发明实施例提供了一种太阳能电池的制备方法,涉及太阳能电池制造领域。解决了采用现有方法对硅片进行单面制绒时,由于未去除机械损伤层而导致的太阳能电池转换效率降低的问题。本发明实施例提供的太阳能电池的制备方法包括:(1)在硅片的正面形成保护膜;(2)、采用抛光液对完成步骤(1)的硅片进行表面处理,以使硅片的背面与抛光液反应,去除机械损伤层并形成平坦表面;(3)、采用处理液对完成步骤(2)的硅片进行表面处理,以去除硅片正面的保护膜;(4)、对完成步骤(3)的硅片进行表面制绒工艺,以在硅片的正面形成绒面。 | ||
申请公布号 | CN104051563B | 申请公布日期 | 2017.03.29 |
申请号 | CN201310081637.3 | 申请日期 | 2013.03.14 |
申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 韩允;王大男 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人 | 申健 |
主权项 | 一种太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括:步骤(1)、在硅片的正面形成保护膜,所述保护膜为氮化硅薄膜;步骤(2)、采用抛光液对完成所述步骤(1)的所述硅片进行表面处理,以使所述硅片的背面与所述抛光液反应,去除机械损伤层并形成平坦表面;所述抛光液为氢氧化钠溶液;步骤(3)、采用处理液对完成所述步骤(2)的所述硅片进行表面处理,以去除所述硅片正面的所述保护膜;所述处理液为氢氟酸;步骤(4)、对完成所述步骤(3)的所述硅片进行表面制绒工艺,以在所述硅片的正面形成绒面。 | ||
地址 | 100026 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼 |