发明名称 | 回收挥发性有机氯化物气体的装置及方法 | ||
摘要 | 本发明公开了回收挥发性有机氯化物气体的装置及方法。本发明所述的回收挥发性有机氯化物气体的装置,其特征在于,包括:一个或多个吸附塔,所述吸附塔中装置有吸附树脂;加热装置,所述加热装置与全部或部分所述吸附塔连通,用于将热气体或水蒸汽输入所述吸附塔内;第一冷凝器,所述第一冷凝器与全部或部分所述吸附塔连通;所述吸附塔内的吸附树脂吸附有机氯化物气体后,加热装置向所述吸附塔内输入热空气或水蒸汽,使吸附在所述吸附树脂上的有机氯化物气体脱离所述吸附树脂;并将有机氯化物气体输入第一冷凝器内冷凝为液体后输出。经过本发明回收装置和方法处理后排放出的有机氯化物浓度低于10mg/m<sup>3</sup>。 | ||
申请公布号 | CN106540508A | 申请公布日期 | 2017.03.29 |
申请号 | CN201611223769.5 | 申请日期 | 2016.12.27 |
申请人 | 上海新阳半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 方书农;梁重时;王溯;方云英 |
分类号 | B01D53/04(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/04(2006.01)I |
代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
主权项 | 回收挥发性有机氯化物气体的装置,其特征在于,包括:一个或多个吸附塔,所述吸附塔中装置有吸附树脂;加热装置,所述加热装置与全部或部分所述吸附塔连通,用于将热气体或水蒸汽输入所述吸附塔内;第一冷凝器,所述第一冷凝器与全部或部分所述吸附塔连通;所述吸附塔内的吸附树脂吸附有机氯化物气体后,加热装置向所述吸附塔内输入热空气或水蒸汽,使吸附在所述吸附树脂上的有机氯化物气体脱离所述吸附树脂;并将有机氯化物气体输入第一冷凝器内冷凝为液体后输出。 | ||
地址 | 201616 上海市松江区思贤路3600号 |