一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型实施例涉及声电转换领域，更具体地，涉及一种MEMS麦克风，包括一MEMS芯片，所述MEMS芯片包括一衬底、和一设置于所述衬底之上的声学振膜；限位结构，沿所述声学振膜外缘表面设置，以使所述限位结构结合所述衬底形成一限定所述声学振膜形变位移的限位空腔，通过在沿所述声学振膜外缘表面设置一限位结构，当声学振膜的形变位移达到限位结构时，声学振膜与限位结构接触，超出声学振膜形变位移最大值的压力被传递至限位结构，限位结构吸收并释放该声压，限制声学振膜的形变位移，防止声学振膜工作于“超负荷”形变状态，即防止因“超负荷”形变降低声学振膜的弹性形变能力，保证MEMS麦克风采集声音的准确度。

主权项

一种MEMS麦克风，其特征在于：包括一MEMS芯片，所述MEMS芯片包括一衬底、和一设置于所述衬底之上的声学振膜；限位结构，沿所述声学振膜外缘表面设置，以使所述限位结构结合所述衬底形成一限定所述声学振膜形变位移的限位空腔。