一种MEMS麦克风印制电路板及其加工方法

摘要

本发明实施例提供了一种MEMS麦克风印制电路板及其加工方法，用于解决现有技术中MEMS麦克风制作过程存在的上述问题，以提高MEMS麦克风的信噪比，增加防尘性及防水性，加工方法易实现。本发明实施例方法包括：提供印制电路板及复合材料，印制电路板上具有声孔；根据声孔对复合材料进行加工，形成复合片，并在复合片之间形成复合桥片；将复合片固定于印制电路板，并对复合片进行加工，形成微孔阵列，得到MEMS麦克风印制电路板。

主权项

一种微机电系统MEMS麦克风印制电路板的加工方法，其特征在于，包括：提供印制电路板及复合材料，所述印制电路板上具有声孔；根据所述声孔对所述复合材料进行加工，形成复合片，并在所述复合片之间形成复合桥片；将所述复合片固定于所述印制电路板，并对所述复合片进行加工，形成微孔阵列，得到MEMS麦克风印制电路板。