一种基于PSD的梁二维微力测量装置

摘要

一种基于PSD的梁二维微力测量装置，它属于精密测量的技术领域。它的测量杆的上部外圆面上开有用于与被测游丝卡接的环槽；测量杆的下端与梁中心上面垂直连接，使梁的四根粱的外端头分别与方框形测量杆支架的四个角连接，四块反光镜分别设置在梁的四根梁的下面上；四分半导体激光器设置在基座中心立柱的上端面上，四个二维PSD位置传感器分别设置在基座的四个角上的四根立柱的上端面上；使四分半导体激光器发射的四束激光束分别通过四块反光镜反射后，分别反射到四个二维PSD位置传感器的检测窗口上。本发明利用测量杆和梁进行力到微位移的转换，再利用光杠杆放大原理，采用二维PSD进行位置测量，最终检测到了测量杆处的二维受力。

主权项

一种基于PSD的十字梁二维微力测量装置，其特征在于它包括测量杆（1）、方框形测量杆支架（2）、十字梁（3）、四块反光镜（4）、四分半导体激光器（5）、基座（6）、四个二维PSD位置传感器（7）；测量杆（1）的上部外圆面上开有用于与被测游丝（8）卡接的环槽（1‑1）；测量杆（1）的下端与十字梁（3）中心上端面垂直连接，十字梁（3）设置在方框形测量杆支架（2）的内部，使十字梁（3）的四根粱的外端头分别与方框形测量杆支架（2）的四个角连接，四块反光镜（4）分别设置在十字梁（3）的四根梁的下端面上，四块反光镜（4）的反光面都朝下；四分半导体激光器（5）设置在基座（6）中心立柱的上端面上，四个二维PSD位置传感器（7）分别设置在基座（6）的四个角上的四根立柱的上端面上；方框形测量杆支架（2）设置在基座（6）的正上方上，使四分半导体激光器（5）发射的四束激光束分别通过四块反光镜（4）反射后，分别反射到四个二维PSD位置传感器（7）的检测窗口上,所述十字梁（3）的四根粱的上下方向的刚度约为0.1N/μm。