一种刻蚀机过滤系统

摘要

本实用新型提供了一种刻蚀机过滤系统，涉及刻蚀技术领域，所述刻蚀机过滤系统包括：主药液槽，用于在其中进行刻蚀作业；其侧面设有药液溢出口；辅药液槽开设有药液入口；药液入口低于药液溢出口，药液入口与药液溢出口之间通过第一管道连接；辅药液槽中设有过滤装置；药液输送装置，用于将通过过滤装置过滤后的刻蚀液输送至主药液槽。辅药液槽的高度比主药液槽低、便于工作人员加入药液；将过滤装置设置在辅药液槽中，使得工作人员在向辅药液槽中加入药液时能够便捷地查看过滤装置的使用情况，及时更换过滤装置。

主权项

一种刻蚀机过滤系统，其特征在于，包括：主药液槽，用于在其中进行刻蚀作业；所述主药液槽装有刻蚀液，其侧面设有药液溢出口；辅药液槽，所述辅药液槽开设有药液入口；所述药液入口低于所述药液溢出口，所述药液入口与所述药液溢出口之间通过第一管道连接；所述辅药液槽中设有过滤装置；药液输送装置，用于将通过所述过滤装置过滤后的刻蚀液输送至所述主药液槽。