一种基于四光束干涉的混合型波前传感装置

摘要

本发明提供一种基于四光束干涉的混合型波前传感装置，包括分波面元件、光电传感器、存储器和运算器；其中分波面元件上的每个子孔径内设有四个通光圆孔A、B、C和D，其中通光圆孔A的圆心位于子孔径的中心上，通光圆孔B、C和D的圆心间隔120°均布在通光圆孔A的同心圆上；光电传感器用于接收入射光波经分波面元件后所形成光场的干涉图样，并将干涉图样的强度信息量化为数字图像，保存在存储器中；运算器根据存储器中保存的数字图像，计算入射光波在分波面元件上各个子孔径内的波面位相分布。能够获得各个子孔径内波面的x和y方向上斜率、曲率以及混合曲率值，从而实现高阶像差的精确测量。

主权项

一种基于四光束干涉的混合型波前传感装置，其特征在于，包括分波面元件、光电传感器、存储器和运算器；其中分波面元件上的每个子孔径内设有四个通光圆孔A、B、C和D，其中通光圆孔A的圆心位于子孔径的中心上，通光圆孔B、C和D的圆心间隔120°均布在通光圆孔A的同心圆上；光电传感器用于接收入射光波经分波面元件后所形成光场的干涉图样，并将干涉图样的强度信息量化为数字图像，保存在存储器中；运算器根据存储器中保存的数字图像，计算入射光波在分波面元件上的各个子孔径内以波面x和y方向上斜率、曲率以及混合曲率值表征的波面位相分布，其中，分波面元件上的各个子孔径内x和y方向的坐标原点分别是各个子孔径的中心。