一种具有形状记忆效应的氧化物薄膜材料的制备方法及其应用

摘要

一种具有形状记忆效应的氧化物薄膜材料的制备方法：利用脉冲激光沉积技术在高品格失配单晶衬底上制备两相共存的BiFe0₃薄膜；利用聚焦离子束刻蚀技术在上步制得的两相共存的BiFe0₃薄膜中制备纯相纳米结构。还公开了所述薄膜纳米结构的应用。本发明的效果是利用外延生长技术和聚焦离子束刻蚀手段，成功制备出一种具有巨大形状记忆效应的铁电氧化物材料。电场、温度、应力都可以对此材料的形状记忆应变产生作用，其最大可逆应变高达14％。由于电场也可以实现对此材料的形状记忆效应的调控，使其工作频率高于传统的合金材料，加之这种形状应变是在纳米尺度下实现的，从而使其有可能替代传统的合金材料在小尺寸下的传感、驱动等应用。

主权项

一种具有形状记忆效应的氧化物薄膜材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）利用脉冲激光沉积技术在高晶格失配单晶衬底上制备两相共存的BiFeO₃薄膜；（2）利用聚焦离子束刻蚀技术在上步制得的两相共存的BiFeO₃薄膜中制备纯菱形相纳米结构；所述两相共存中的两相为菱形相与四方相，所述菱形相的尺寸为30‑100纳米。