发明名称 | 压力传感器及其制造方法 | ||
摘要 | 一种压力传感器(10),包括容纳在本体(14)和保持器(16)之间的陶瓷传感器(18)。在传感器(18)的端表面(38a)上,多个电阻体(40a‑40d)通过丝网印刷并使用厚膜电阻浆料沿直线被印刷和烧结。 | ||
申请公布号 | CN106546373A | 申请公布日期 | 2017.03.29 |
申请号 | CN201610506057.8 | 申请日期 | 2016.06.30 |
申请人 | SMC株式会社 | 发明人 | 齐藤充浩;大岛裕太;山岸健 |
分类号 | G01L9/04(2006.01)I | 主分类号 | G01L9/04(2006.01)I |
代理机构 | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人 | 梅高强;张丽颖 |
主权项 | 一种压力传感器(10),其特征在于,包含:本体(14),所述本体(14)包括引入压力流体的流体通道(12);和陶瓷传感器(18),所述传感器(18)布置在所述本体(14)的一端,并且包括面向所述流体通道(12)的薄膜隔膜部分(56);其中,通过厚膜印刷技术印刷的多个电阻体(40a至40d)沿直线设置在所述隔膜部分(56)上,并以预定距离互相分离。 | ||
地址 | 日本国东京都千代田区外神田4丁目14番1号 |