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Die Erfindung betrifft eine Prozesskammer (5) mit einem Innenraum (39). In dem Innenraum (39) gibt es einen Aufnahmebereich (15) für Werkstücke (3). Die Prozesskammer (5) hat eine Öffnung (12, 14) für das Zu- oder Abführen von Werkstücken (3). Die Prozesskammer umfasst eine Vorrichtung (17, 19, 25, 29, 33, 37, 35) für das Einblasen von gasförmigem Fluid in den Innenraum (39). Die Vorrichtung für das Einblasen von gasförmigem Fluid weist wenigstens eine Düse (17, 19) für das Erzeugen eines Fluidstromvorhangs (21, 23) zwischen der Öffnung (12, 14) und dem Aufnahmebereich (15) für Werkstücke (3) auf. |
