使用热退火设备进行快速热退火工艺的方法

摘要

本发明提供一种使用热退火设备进行快速热退火工艺的方法，对热退火设备在空闲及工作状态下分别按照第一、第二参数进行设定，并将热退火设备的数个加热腔中的至少前1个加热腔设为区别设定加热腔，所述第一参数中对区别设定加热腔的设定温度低于所述第二参数中对该区别设定加热腔的设定温度，从而使得热退火设备在由空闲状态向工作状态转换时，减少工作状态初期首先放入热退火设备中的基板与工作状态稳定时放入的基板间温度的差异，进而减少TTP变异的发生，降低产品报废的风险，提升产品良率，增加产品经济价值。

主权项

一种使用热退火设备进行快速热退火工艺的方法，所述热退火设备包括由前向后依序设置的数个加热腔和一个快速冷却腔，所述热退火设备具有空闲状态和工作状态，其特征在于，该方法包括：所述热退火设备由空闲状态向工作状态转换时，将对热退火设备的设置参数由第一参数切换至第二参数的步骤；所述热退火设备由工作状态向空闲状态转换时，将对热退火设备的设置参数由第二参数切换至第一参数的步骤；所述第一、第二参数分别包括对数个加热腔和一个快速冷却腔的设定温度；所述数个加热腔中依前后顺序从第1个起至少前1个加热腔为区别设定加热腔，剩余的加热腔为相同设定加热腔；所述第一参数中对区别设定加热腔的设定温度低于所述第二参数中对该区别设定加热腔的设定温度。