用于确定处理速率的设备

摘要

本发明涉及用于确定处理速率的设备，提供了一种用于处理衬底的设备。衬底支撑件位于处理室中。气体入口提供工艺气体到处理室内。排放泵从处理室排放气体。气体副产物测量系统包括红外光源和红外检测器。控制器包括至少一个处理器和计算机可读介质。该计算机可读介质包括计算机可读代码，其用于使工艺气体流入蚀刻室，用于处理来自所述红外检测器的数据，用于使用经处理的来自红外检测器的数据以确定气体副产物的浓度，以及用于使用所确定的气体副产物的浓度来调整流入处理室的工艺气体的流动。

主权项

一种用于处理衬底的设备，其包括：处理室；在该处理室内的衬底支撑件；气体入口，其用于提供工艺气体至所述处理室内，其中，当衬底在所述处理室中被处理时，所述处理提供气体副产物；气体源，其用于提供所述工艺气体至所述气体入口；排放泵，其用于从所述处理室抽排气体；气体副产物测量系统，其包括：红外光源；和红外检测器；和控制器，其可控地连接于所述气体源和所述红外光源并从所述红外检测器接收信号，其中所述控制器包括：至少一个处理器；和计算机可读介质，其包括：用于使所述工艺气体流进所述蚀刻室的计算机可读代码；用于处理来自所述红外检测器的数据的计算机可读代码；用于使用经处理的来自所述红外检测器的所述数据来确定所述气体副产物的浓度的计算机可读代码；和用于使用所确定的所述气体副产物的浓度来调整流入所述处理室的所述工艺气体的流动的计算机可读代码。