一种乙酸乙酯气体传感器及其制备方法

摘要

一种以Al掺杂的立方体结构In₂O₃微米颗粒为敏感层的乙酸乙酯气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al₂O₃衬底、Pd金属插指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al₂O₃衬底上采用涂覆技术制备的Al掺杂的立方体结构In₂O₃微米颗粒敏感层组成；其中Al掺杂的立方体结构In₂O₃微米颗粒的粒径为1～1.2μm。本发明的乙酸乙酯气体传感器，Al掺杂到立方体结构In₂O₃微米颗粒中引起晶格缺陷，这些晶格缺陷有利于提高气敏材料的气敏响应。同时本发明的工艺简单、制得的乙酸乙酯气体传感器体积小、适于大批量生产，因而具有重要的应用价值。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点，对乙酸乙酯气体具有良好的检测性能。

主权项

一种以Al掺杂的立方体结构In₂O₃微米颗粒为敏感层的乙酸乙酯气体传感器，其特征在于：从下至上依次由Al₂O₃衬底、Pd金属插指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al₂O₃衬底上采用涂覆技术制备的Al掺杂的立方体结构In₂O₃微米颗粒敏感层组成；其中Al掺杂的立方体结构In₂O₃微米颗粒由如下步骤制备得到，在室温条件下，首先将40～60mL水和5～15mL乙醇混合，搅拌5～8分钟得到混合溶剂，然后向45～75mL上述混合溶剂中加入1～1.5g硝酸铟、0.01～0.03g氢氧化钠、0.06～0.09g聚乙烯吡咯烷酮、0.06～0.08g氯化铝，并继续搅拌3～6小时；然后将得到的溶液在180～200℃下水热反应18～24h，冷却至室温后将生成物用去离子水和无水乙醇离心清洗，离心产物在60～70℃下干燥3～5小时，最后在500～650℃下煅烧1～3小时，从而得到粒径为1～1.2μm的Al掺杂的立方体结构In₂O₃微米颗粒。