一种新型管路加热方法

摘要

一种新型管路加热方法，主要用于防止汽化后的液态源或固态源产生冷凝或凝华的情况。该方法中所涉及的管路，包括外套管及内衬管。具体加热方法是：首先安装好外套管和内衬管，并将热介质通入两管间隙内利用流动的热介质将整套系统加热。当气体流经内衬管时，因内衬管的表面已经被加热，所以气体不会遇到温度较低的区域，以此实现确保气体无冷凝的目的。使用此方法，可以避免人工安装加热带时，因主观因素造成重复安装至使加热效果有差异的状况。还因本发明采用的热介质是流动的，所以确保了加热的均匀性，而且管路在制作时就已经是双套管结构，使得安装过程变得简易。适用于多种样式的以液态源或固态源为反应源的设备，且操作简单，拆卸方便，可广泛应用于半导体镀膜技术领域。

主权项

一种新型管路加热方法，该方法中所涉及的管路，包括外套管(1)及内衬管(3)，其特征在于具体的加热方法是：首先安装好外套管(1)和内衬管(3)，并将热介质(2)通入两管间隙内利用流动的热介质(2)将整套系统加热，当气体(4)流经内衬管(3)时，因内衬管(3)的表面已经被加热，所以气体(4)不会遇到温度较低的区域，以此实现确保气体无冷凝的目的。