| 发明名称 | 用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，包括：布置在主体的台面上的第一水平仪、第二水平仪、第三水平仪和第四水平仪，其中第一水平仪和第三水平仪平行布置，第二水平仪和第四水平仪平行布置，而且第一水平仪和第三水平仪的布置方向与第二水平仪和第四水平仪的布置方向垂直。 | ||
| 申请公布号 | CN206056574U | 申请公布日期 | 2017.03.29 |
| 申请号 | CN201621102068.1 | 申请日期 | 2016.09.30 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 丁彦庆;桂纯钦;金卫;许青峰;朱骏 |
| 分类号 | G01C9/00(2006.01)I;G01B5/00(2006.01)I | 主分类号 | G01C9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种用于机械手臂水平和位置的检测及调整的装置，其特征在于包括：布置在主体的台面上的第一水平仪、第二水平仪、第三水平仪和第四水平仪，其中第一水平仪和第三水平仪平行布置，第二水平仪和第四水平仪平行布置，而且第一水平仪和第三水平仪的布置方向与第二水平仪和第四水平仪的布置方向垂直。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||