发明名称 基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统
摘要 一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统,该系统包括:一石英音叉;一压电陶瓷扫描台,所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台上;一锁相放大器,其端口1、端口2通过PCB板与石英音叉的两端相连;一光电倍增管,其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连;一激光器,其输出端与一激发光纤探针相连;一控制箱,其端口与光电倍增管的输出端相连,其端口与锁相放大器的端口3相连,其端口3与压电陶瓷扫描台相连;一电脑,其输入端与控制箱的端口4相连。本发明可以提高现有的近场光学显微镜的灵敏度。
申请公布号 CN104777331B 申请公布日期 2017.03.29
申请号 CN201510179862.X 申请日期 2015.04.16
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 杨惠霞;漆晓琼;谢亮
分类号 G01Q60/18(2010.01)I 主分类号 G01Q60/18(2010.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 任岩
主权项 一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统,该系统包括:一石英音叉,该石英音叉有两个振动臂,为U字型;一压电陶瓷扫描台,所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台上;一锁相放大器,其端口(1)、端口(2)通过PCB板与石英音叉的两端相连;一光电倍增管,其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连;一激光器,其输出端与一激发光纤探针相连;一控制箱,其端口(1)与光电倍增管的输出端相连,该控制箱的端口(2)与锁相放大器的端口(3)相连,该控制箱的端口(3)与压电陶瓷扫描台相连;一电脑,其输入端与控制箱的端口(4)相连;其中待测样品放置在石英音叉的一个振动臂上;石英音叉作为力的传感器,用于探测收集光纤探针与样品之间的距离,同时石英音叉作为载样台,用于承载样品进行扫描成像。
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