一种远红外激光加工用Fθ镜头及激光加工设备

摘要

一种远红外激光加工用Fθ镜头及激光加工设备，该镜头包括沿入射光束的传输方向依次共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)及第三透镜(L3)；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜和第三透镜为弯月形正透镜；第一、第二、第三透镜的中间部分均向入射光束的传输方向凸出。该Fθ镜头，可以提高成像质量和分辨距离，有效校正镜头的象散和畸变，减小高级像差的影响，并且激光聚焦点的能量集中度较高，加工精度高，可很好的满足切割或打孔的要求。该Fθ镜头小型化，有效控制了镜头体积，降低了成本。

主权项

一种远红外激光加工用Fθ镜头，其特征在于，包括沿入射光束的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜及第三透镜；所述第一透镜为弯月形负透镜，所述第二透镜和第三透镜为弯月形正透镜；所述第一、第二、第三透镜的中间部分均向所述入射光束的传输方向凸出，所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面，所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面，所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面，所述第一至第六曲面沿所述入射光束的传输方向依次排布；所述第一至第六曲面的曲率半径依次为：‑50mm，‑60mm，‑68mm，‑50mm，‑500mm，‑180mm，公差均为5％。