发明名称 一种锰锑酸铅掺杂的铌镍‑锆钛酸铅压电陶瓷
摘要 本发明公开了一种锰锑酸铅(PMS)掺杂的铌镍‑锆钛酸铅压电陶瓷(PNN‑PZT),原料配方为:(1‑x)Pb(Ni<sub>1/3</sub>Nb<sub>2/3</sub>)<sub>0.5</sub>Zr<sub>y</sub>Ti<sub>0.5‑y</sub>O<sub>3</sub>‑xPb(Mn<sub>1/</sub><sub>3</sub>Sb<sub>2/3</sub>)O<sub>3</sub>,式中,x、y为摩尔含量,数值分别为x=0.0‑0.06,y=0.10‑0.20。本发明采用传统的固相合成工艺,预烧温度为800‑900℃,烧结温度为1000‑1300℃,得到了新型的压电陶瓷材料,此材料具有高的压电系数(d<sub>33</sub><sup>*</sup>~1000pm/V)以及优异的力学性能(E~120GPa,K<sub>1C</sub>~1.44Mpa·m<sup>1/2</sup>)。本发明是一种以锆钛酸铅为基础的压电陶瓷,具有高的压电系数和优异的力学性能。该新型压电陶瓷主要用于微位移驱动器、压电传感器、换能器等领域,具有很大的市场价值。
申请公布号 CN104844202B 申请公布日期 2017.03.29
申请号 CN201510179552.8 申请日期 2015.04.16
申请人 中国科学院光电技术研究所 发明人 周佳骏;张颖;李海龙;刘红;方敬忠
分类号 H01L41/187(2006.01)I;C04B35/49(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I 主分类号 H01L41/187(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种锰锑酸铅(PMS)掺杂的铌镍‑锆钛酸铅压电陶瓷(PNN‑PZT),其配方组成为:(1‑x)Pb(Ni<sub>1/3</sub>Nb<sub>2/3</sub>)<sub>0.5</sub>Zr<sub>y</sub>Ti<sub>0.5‑y</sub>O<sub>3</sub>‑xPbMn<sub>1/3</sub>Sb<sub>2/3</sub>O<sub>3</sub>,式中,x、y为摩尔含量,数值分别为x=0.0‑0.06,y=0.10‑0.20;其制备方法包括以下步骤:步骤(1)、将分析纯级NiO和Nb<sub>2</sub>O<sub>5</sub>按比例称量后,球磨混合,烘干,过筛后在1000℃烧结6h,得到NiNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>;步骤(2)、将步骤(1)得到的NiNb<sub>2</sub>O<sub>6</sub>,与Pb<sub>3</sub>O<sub>4</sub>、ZrO<sub>2</sub>、TiO<sub>2</sub>、MnO<sub>2</sub>、Sb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>按化学计量比称量后,球磨混合,烘干,过40目筛后,压片,在860℃烧结2h;步骤(3)、将步骤(2)得到的原料块,碾碎,球磨,烘干,过筛后,加入一定量的PVA水溶液造粒;步骤(4)、将步骤(3)得到的陶瓷粉体,模压成型,得到生坯片;步骤(5)、将步骤(4)得到的生坯片先在600℃脱脂,然后在1250℃烧结2h,得到陶瓷片;步骤(6)、将步骤(5)得到的陶瓷片进行抛光、表面被银和极化处理;该压电陶瓷具备以下性能:在E=1kV/mm情况下,测得的压电系数d33*=898‑1036pm/V、机械耦合系数kp=0.56‑0.48、测试频率为1kHz时,介电损耗tanδ=1.8‑0.4%、杨氏模量E=98‑135GPa、硬度H=5.9‑6.7GPa、断裂韧性K<sub>1C</sub>=1.24‑1.72MPa·m<sup>1/2</sup>。
地址 610209 四川省成都市双流县350信箱