一种SiC光子晶体的制备方法

摘要

本发明公开了一种SiC光子晶体的制备方法，将SiC粉末、硼粉、碳粉、乙醇及分散剂加入球磨机中进行球磨、解离；将上述固体粉末加入光固化单体中，再加入分散剂，并在避光条件下加入自由基光引发剂，搅拌均匀，得到悬浮液；最后在悬浮液中加入消泡剂，获得均匀、无气泡悬浮液；将悬浮液加入光固化成形设备中，按照光子晶体结构的三维模型数据，利用紫外光对悬浮液进行分层固化，制备出生坯结构；最后将生坯进行脱脂和烧结处理，得到结构致密的SiC光子晶体。本发明的制备方法摆脱了结构的限制，可以按需对晶体结构进行设计，并且很大程度上缩减加工时长以及制造成本。

主权项

一种SiC光子晶体的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，SiC悬浮液制备步骤1‑1，固体粉末制备将SiC粉末、硼粉、碳粉、乙醇以及分散剂加入球磨机中进行球磨、解离，然后将球磨后的混合物进行低温蒸发，得到表面附有有机物的固体粉末；步骤1‑2，悬浮液混合按照固体粉末与光固化单体质量比为1‑9:1的比例，将上述固体粉末加入光固化单体中，再加入分散剂，并在避光条件下加入自由基光引发剂，搅拌均匀，得到悬浮液；步骤1‑3，悬浮液处理在悬浮液中加入消泡剂，获得均匀、无气泡悬浮液；步骤2，零件生坯的制造将SiC悬浮液加入光固化成形设备中，按照光子晶体结构的三维模型数据，利用紫外光对悬浮液进行分层固化，制备出SiC光子晶体生坯结构；步骤3，后处理工艺将生坯放入高温烧结炉中进行脱脂、烧结处理，得到结构致密的SiC光子晶体。