| 发明名称 | 用于欧姆尼探针的修针装置以及修欧姆尼探针修针方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种用于欧姆尼探针的修针装置以及修欧姆尼探针修针方法。本发明的用于欧姆尼探针的修针装置包括：用于向欧姆尼探针发射聚焦离子束的聚焦离子束系统、布置在欧姆尼探针的末端的步进动机、以及用于控制步进动机的控制系统；其中所述步进动机用于控制欧姆尼探针以使得欧姆尼探针转动。 | ||
| 申请公布号 | CN106540928A | 申请公布日期 | 2017.03.29 |
| 申请号 | CN201610924540.8 | 申请日期 | 2016.10.24 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 宋箭叶;倪棋梁;龙吟;顾晓芳 |
| 分类号 | B08B7/00(2006.01)I | 主分类号 | B08B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种用于欧姆尼探针的修针装置，其特征在于包括：用于向欧姆尼探针发射聚焦离子束的聚焦离子束系统、布置在欧姆尼探针的末端的步进动机、以及用于控制步进动机的控制系统；其中所述步进动机用于控制欧姆尼探针以使得欧姆尼探针转动。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||