发明名称 COMPOSANT MICROMECANIQUE ET SYSTEME DE LASER A MICRO-MIROIR ET PROCEDE DE SURVEILLANCE DU SYSTEME
摘要 Composant micromécanique (1) comportant un micro-miroir (10) couplé à un substrat de support (13), une première diode de capteur (11) pour fournir un premier signal de sortie correspondant à sa température, et une seconde diode de capteur (12) pour fournir un second signal de sortie qui correspond à l'intensité lumineuse qu'elle reçoit. La première diode de capteur (11), la seconde diode de capteur (12) sont installées dans le substrat de support (13).
申请公布号 FR3041335(A1) 申请公布日期 2017.03.24
申请号 FR20160058735 申请日期 2016.09.19
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 ROCZNIK MARKO
分类号 B81B7/02;G01M11/00;G02B17/06;G02B26/08 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
主权项
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