摘要 |
Composant micromécanique (1) comportant un micro-miroir (10) couplé à un substrat de support (13), une première diode de capteur (11) pour fournir un premier signal de sortie correspondant à sa température, et une seconde diode de capteur (12) pour fournir un second signal de sortie qui correspond à l'intensité lumineuse qu'elle reçoit. La première diode de capteur (11), la seconde diode de capteur (12) sont installées dans le substrat de support (13). |