| 摘要 |
本発明の一態様であるＸ線回折装置（１）は、被検試料（１６）のＸ線回折強度プロファイルを測定する測定ユニット（２）と、被検試料（１６）と測定ユニット（２）との間の離間距離（Ｚ）を測定する距離測定部（９）と、Ｘ線回折強度プロファイルを補正処理するデータ処理部（１０）とを備える。測定ユニット（２）は、被検試料（１６）にＸ線を照射するＸ線照射部（３）と、被検試料（１６）からの複数の回折Ｘ線を１次元検出または２次元検出するＸ線検出部（６）と、基準面（１７）に対して相対的にＸ線照射部（３）およびＸ線検出部（６）を固定配置される筐体（８）とを有する。データ処理部（１０）は、離間距離（Ｚ）をもとに被検試料（１６）の変位（ΔＺ）を算出し、算出した変位（ΔＺ）に応じて、被検試料（１６）の測定点における真のＸ線回折角度（２θ）を算出し、算出した真のＸ線回折角度（２θ）をもとに、Ｘ線回折強度プロファイルを補正する。 |
