積層体、積層デバイス及びそれらの製造方法

摘要

積層体１０は、第１の誘電率を有する第１材料層２０と、第１の誘電率よりも低い第２の誘電率を有する第２材料層３０とを備えている。第１材料層２０は、ＢａＴｉＯ3の一部にＢａ、Ｔｉ以外の金属元素を含む化合物である第１粒子部２２と、第１粒子部２２の粒子間に存在しＺｎＯを含む第１粒界部２４と、を含む。第２材料層３０は、第２粒子部３２と、第２粒子部３２の粒子間に存在する第２粒界部３４と、を含む。