| 摘要 |
装置高速化に伴い、短時間でプローブの広範囲に対し洗浄から乾燥までを行う必要がある。プローブ（７ａ）と、洗浄液を吐出する洗浄ノズル（２０１、２０２）と、空気を吸引する真空ノズル（２１１、２１２ａ〜ｃ）と、洗浄ノズル（２０１、２０２）と真空ノズル（２１１、２１２ａ〜ｃ）とに接続され、洗浄ノズル（２０１、２０２）から該洗浄液を吐出した後、真空ノズル（２１１、２１２ａ〜ｃ）で空気を吸引することで、プローブ（７ａ）の洗浄および乾燥を行う洗浄槽（３０）と、洗浄槽（３０）に接続され、該洗浄液を排出する廃液流路（２５０）と、洗浄ノズル（２０１、２０２）から該洗浄液を吐出した後に洗浄槽（３０）と廃液流路（２５０）との間の流路を遮蔽する遮蔽部材（１００）と、を備える。 |
