窒化物半導体素子

摘要

窒化物半導体素子は、凹凸表面を有する基板と、基板上の窒化物半導体下地層と、窒化物半導体下地層上の窒化物半導体機能層とを含んでいる。窒化物半導体下地層は、Ｃ面に対して５０°以上６５°以下の角度で傾斜する傾斜面からなる凹凸面を表面として含んでいる。窒化物半導体機能層は、窒化物半導体下地層の凹凸面上に設けられている。