| 摘要 |
本発明は、タングステン粉の焼結体を形成する焼結工程、前記焼結体の表面に誘電体層を形成する化成工程、及び前記誘電体層を形成後に当該誘電体層と弁金属のアルコキシド化合物とを接触させる処理工程を有し、前記処理工程を、（Ａ）前記誘電体層が形成された焼結体についての示差熱分析における１００〜３００℃での質量減少の当該分析前の質量に対する割合が０．０２％以下となるように行うか、（Ｂ）前記誘電体層の表層中におけるタングステン原子に対するタングステン以外の弁金属原子の原子数比が０．０５〜０．３５となるように行うか、または（Ｃ）前記（Ａ）及び（Ｂ）の要件を満たすように行うコンデンサ陽極体の製造方法を提供する。本発明によれば、タングステン粉の焼結体を陽極体とするコンデンサのバイアス電圧依存性を低減することができる。 |
