发明名称 シート貼付装置およびシート貼付方法
摘要 【課題】単位時間当たりに接着シートを貼付する処理能力の低下を極力防止するシート貼付装置を提供する。【解決手段】接着シートASを被着体WKに押圧して貼付する押圧手段40は、接着シートASの繰出方向後端部AS3が剥離シートRLに仮着された状態で、当該接着シートASの繰出方向前端部AS1から当該接着シートASの繰出方向中間部AS2までの初期貼付領域ASFを保持し、被着体WKと相対移動することで、繰出方向中間部AS2から繰出方向前端部AS1に向かって初期貼付領域ASFを徐々に被着体WKに貼付し、さらに、被着体WKとの相対移動に同期させて、剥離シートRLに仮着された前記接着シートAS部分を当該剥離シートRLから剥離手段30で剥離しながら、少なくとも繰出方向中間部AS2から繰出方向後端部AS3までの後期貼付領域ASRを徐々に被着体WKに貼付することを特徴とするシート貼付装置10。【選択図】図1
申请公布号 JP2017059581(A) 申请公布日期 2017.03.23
申请号 JP20150180869 申请日期 2015.09.14
申请人 リンテック株式会社 发明人 上道 厚史
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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