摘要 |
転写装置が粘性流体で形成する流体膜の膜厚が適切に管理できるとともに、装置の小型化及び装置の構造の簡易化が図れ、ひいては製造コストの低減が図れる電子部品実装機を提供すること。電子部品実装機は、装着ヘッドの吸着ノズルと交換可能な膜厚ゲージ131を備える。膜厚ゲージ131は、貯留部64のフラックス膜Fの膜厚Tの測定値に応じた軸方向の長さで形成された測定部136A〜136Dが設けられている。装着ヘッドは、貯留部64の上方の位置まで移動し膜厚ゲージ131を下降させフラックス膜Fに接触させる。膜厚ゲージ131は、測定部136A〜136Dが膜厚Tに応じた測定痕200A〜200Dをフラックス膜Fに形成する。電子部品実装機は、測定痕200A〜200Dをマークカメラ37によって撮像し、撮像データに基づいて実際に形成されたフラックス膜Fの膜厚Tを判定する。 |