物理量センサー、物理量センサー装置、電子機器および移動体

摘要

【課題】物理量の検出精度の低下を低減することのできる物理量センサー、この物理量センサーを備えた物理量センサー装置、電子機器および移動体を提供する。【解決手段】物理量センサー１は、ベース基板２と、ベース基板２に対して変位可能に配置されている可動部５３と、ベース基板２の可動部５３側に設けられ、可動部５３と対向配置されている検出電極６１と、可動部５３のベース基板２側に設けられ、検出電極６１と対向配置されている導電膜５９と、を有し、検出電極６１と導電膜５９との仕事関数差が０．４ｅＶ以下である。【選択図】図３