| 摘要 |
【課題】部品装着の際に負圧の解除が行われても、部品に加える力を適正に制御する。【解決手段】吸着ノズル２２に作用する上下方向の作用力を作用力検出器１０６によって検出し、検出された作用力に基づいて、第２昇降装置の動作を制御する。また、ノズル保持具に設けられた第１エア通路６２，６４，６６と、吸着ノズル２２に設けられた第２エア通路６８とを、ノズル保持具と吸着ノズル２２の互いの摺動面３８，４０において連通させる。吸着ノズル２２に対するエアの吸排が上記摺動面において行われるため、吸着ノズル２２の負圧の解除が行なわれても、装着の際に部品に加える力を適正に制御できる。【選択図】図３ |
