| 摘要 |
【課題】光起電力変換効率を効果的に向上させることができる多結晶シリコン柱及び多結晶シリコンウエハを提供する。【解決手段】本発明の多結晶シリコン柱は、結晶成長方向に沿って成長する複数のシリコン結晶粒を含む。結晶成長方向において、シリコン結晶粒の平均結晶粒径と多結晶シリコン柱の抵抗率は、逆に変動する傾向があり、シリコン結晶粒の平均結晶粒径と多結晶シリコン柱の酸素含有量は、逆に変動する傾向があり、シリコン結晶粒の平均結晶粒径と多結晶シリコン柱の欠陥面積率は、同様に変動する傾向がある。多結晶シリコン柱の全体の平均欠陥面積率は２．５％以下である。多結晶シリコンウエハは、４ｐｐｍａ以上の炭素含有量、１．５５Ω−ｃｍ以上の抵抗率及び５．５ｐｐｍａ以上の酸素含有量を有する。【選択図】 図７ |
