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发明名称
光学デバイスの製造方法及び光学デバイス
摘要
導波路と光学素子を高効率に光学結合する。光学デバイス200の製造方法は、基板101上に導波路202を形成する工程と、前記形成された導波路202の上部クラッド層205の厚さを特定する工程と、前記基板101に光学素子106の搭載面を形成する工程と、前記搭載面に前記光学素子106を搭載する工程と、を含み、前記搭載面を形成する工程において、前記搭載面を前記特定された上部クラッド層205の厚さに応じた高さに形成する、ことを特徴とする。
申请公布号
JPWO2015111600(A1)
申请公布日期
2017.03.23
申请号
JP20150559082
申请日期
2015.01.21
申请人
技術研究組合光電子融合基盤技術研究所
发明人
清水 隆徳
分类号
G02B6/13;G02B6/12;G02B6/42;H01S5/022
主分类号
G02B6/13
代理机构
代理人
主权项
地址
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