露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び露光方法

摘要

【課題】載置ずれや変形を生じさせることなく基板の受け渡しを行う。【解決手段】搬送装置は、基板の一面に対して気体を供給し、気体を介して基板を浮上支持可能な第１支持部と、基板の一面を支持可能な第２支持部と、第１及び第２支持部の少なくとも１つを移動し、第１及び第２支持部を互いに近接又は接触させて第１方向に配列する駆動部と、駆動部によって配列された第１及び第２支持部の一方が支持する基板を、第１方向に沿って他方側に移動する移送部と、を備える。【選択図】図２３