冷却器、パワーデバイス、冷却器の製造方法、およびパワーデバイスの製造方法

摘要

【課題】冷却性能を維持することができる冷却器、パワーデバイス、冷却器の製造方法、およびパワーデバイスの製造方法を提供する。【解決手段】本発明によるヒートシンク１２は、パワー半導体素子１６の放熱を行う冷却器であって、内部に冷却媒体の流路３１ａを備える冷却器本体３１と、流路３１ａの表面に設けられた、Ｎｉを含んでなる結晶粒を含む保護層３２と、を具備してなり、結晶粒の一つあたりの平均面積が１０μｍ２以下である。【選択図】図１