发明名称 ウエハースケールのテスト・インターフェース・ユニット:高速および高密度の混合信号インターコネクトおよびコンタクタのための低損失および高絶縁性の装置および方法
摘要 【解決手段】 多層パッケージ、アンテナ・アレイ・フィード、テスト・インターフェース・ユニット、コネクタ、コンタクタ、およびラージフォーマット基板のための装置および方法。【選択図】 図4
申请公布号 JP2017508306(A) 申请公布日期 2017.03.23
申请号 JP20160565116 申请日期 2015.01.16
申请人 ヌボトロニクス、インク. 发明人 トンプソン、リック、エル.;バンヒル、ケネス;ボリーセンコ、アナトリー、オー.;ローリン、ジャン−マーク
分类号 H01L21/66;G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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