发明名称 非円形メンブレン型コンデンサマイク
摘要 不均一な応力分配の非円形状であるMEMSマイクは、メンブレンの応力分配と反対の応力分配を提供する相殺機構を有するバックプレートによって相殺される。【選択図】図4A
申请公布号 JP2017508394(A) 申请公布日期 2017.03.23
申请号 JP20160555562 申请日期 2014.03.03
申请人 エプコス アクチエンゲゼルシャフトEPCOS AG 发明人 ラーゲンキレ、ヤン チュー;モーテンセン、デニス;ギネルップ、モーテン
分类号 H04R19/04 主分类号 H04R19/04
代理机构 代理人
主权项
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