| 摘要 |
【課題】粒子の計測を開始した直後でも精度よく粒子濃度を検出する。【解決手段】粒子検知装置は、流入口から取り込んだ粒子を含む気体を低温部から高温部にかけて輸送する間に、粒子に凝縮成分を凝縮成長させる凝縮成長部と、凝縮成長部の流出口から排出された気体に含まれる粒子の濃度を検知する粒子検知部と、単位体積当たりの粒子の径および数が既知の試験粒子を含む試験気体を凝縮成長部の流入口に供給する粒子供給部と、粒子検知部にて検知される試験気体に含まれる試験粒子の濃度が所定の値であるか否かを判定する第１判定部と、を備える。凝縮成長部は、試験粒子の濃度が所定の値であると判定されると、測定対象の気体を流入口から取り込んで、流出口まで輸送し、粒子検出部は、試験粒子の濃度が所定の値であると判定されると、流出口から排出された測定対象の気体中の粒子の濃度を検知する。【選択図】図１ |
