| 摘要 |
【課題】 真空容器の容積を省スペースにしつつ、真空容器内を大気解放することなく、マスク交換できるスパッタリング装置を提供すること。【解決手段】真空容器２内で処理対象物７を真空処理室１５とロードロック室との間で搬送する搬送機構５は、真空処理室１５で処理対象物７に真空処理を行うときには、処理対象物７を処理対象物保持部８に保持した状態で搬送する。一方、真空処理室１５における真空処理時に真空処理源５０と処理対象物７との間に設けられるマスク３０をマスク固定部４０に対して着脱するときには、搬送機構５は、マスク搬送部材９０を介して処理対象物保持部８にマスク３０を保持した状態で搬送し、マスク着脱手段８０によってマスク固定部４０に対してマスク３０の着脱を行なう。【選択図】 図３ |
