摘要 |
Substratkörper, der als Sinterkörper vorliegt, der aus Siliziumnitrid (Si3N4) und den Bestandteilen größer 5 und kleiner 7,5 Gewichts-% Yttriumoxid (Y2O3), größer 3 bis 7,5 Gewichts-% Magnesiumoxid (MgO) und 3 bis 6 Gewichts-% Siliziumdioxid (SiO2) als Additive, Rest Siliziumnitrid (Si3N4), besteht mit der Maßgabe, dass das Verhältnis von Magnesiumoxid (MgO) zu Siliziumdioxid (SiO2) in Gewichts-% ≥ 1 beträgt, wobei das Siliziumnitrid (Si3N4) vollständig als beta-Si3N4 vorliegt. |