发明名称 Substratkörper auf der Basis von Siliziumnitrid
摘要 Substratkörper, der als Sinterkörper vorliegt, der aus Siliziumnitrid (Si3N4) und den Bestandteilen größer 5 und kleiner 7,5 Gewichts-% Yttriumoxid (Y2O3), größer 3 bis 7,5 Gewichts-% Magnesiumoxid (MgO) und 3 bis 6 Gewichts-% Siliziumdioxid (SiO2) als Additive, Rest Siliziumnitrid (Si3N4), besteht mit der Maßgabe, dass das Verhältnis von Magnesiumoxid (MgO) zu Siliziumdioxid (SiO2) in Gewichts-% ≥ 1 beträgt, wobei das Siliziumnitrid (Si3N4) vollständig als beta-Si3N4 vorliegt.
申请公布号 DE102010019255(B4) 申请公布日期 2017.03.23
申请号 DE20101019255 申请日期 2010.05.03
申请人 CoorsTek GmbH 发明人 Sichert, Ina;Brunner, Dieter, Dr.
分类号 C04B35/584 主分类号 C04B35/584
代理机构 代理人
主权项
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