| 摘要 |
幾つかの実施形態においては、トランジスタは、底部ソース／ドレイン領域と、第一の絶縁材料と、導電性ゲートと、第二の絶縁材料と、上部ソース／ドレイン領域とを有する積層を含む。積層は、底部ソース／ドレイン領域に沿った底部と、導電性ゲートに沿った中間部分と、上部ソース／ドレイン領域に沿った上部とを有する垂直方向の側壁を有する。第三の絶縁材料は、垂直方向の側壁の中間部分に沿っている。チャネル領域材料は、第三の絶縁材料に沿っている。チャネル領域材料は、垂直方向の側壁の上部および底部に直接接触する。チャネル領域材料は、約３Åより大きく、約１０Å以下の範囲内の厚さを有するか、および／または１モノレイヤーから７モノレイヤーの厚さを有する。【選択図】図１６ |
