发明名称 シートの搬送装置及び搬送方法
摘要 【課題】シートの走行位置が所望の位置からずれることを十分に抑制しつつ、複数のローラ部によってシートを螺旋状に搬送することができ、しかも、異物に起因する該ローラ部の故障が抑制されたシートの搬送装置等を提供する。【解決手段】複数のローラ部によってシートが螺旋状に巻回されて送られるようになっているシートの搬送装置であって、前記各ローラ部は、前記回転軸を中心として回動可能な複数の支持部と、前記回転軸と同方向に沿って移動可能であるように前記複数の支持部に支持された複数の前記シートとの当接部とを有し、前記シートを前記回転軸と傾斜する方向に搬送可能に構成されている、シートの搬送装置。【選択図】 図2
申请公布号 JP2017057450(A) 申请公布日期 2017.03.23
申请号 JP20150181948 申请日期 2015.09.15
申请人 日東電工株式会社 发明人 山本 悟
分类号 C23C14/56;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址