| 摘要 |
観察システム１Ａにおける画像処理方法は、半導体デバイスＳを対象に測定された測定画像Ｇ１と、測定画像Ｇ１に対応する半導体デバイスＳのパターンを示す第１パターン画像Ｇ２を取得する第１ステップと、半導体デバイスＳのパターンを示す第２パターン画像Ｇ３を取得する第２ステップと、第１パターン画像Ｇ２と第２パターン画像Ｇ３とに基づいて、第１パターン画像Ｇ２と第２パターン画像Ｇ３との相対関係を示すマッチング情報を取得する第３ステップと、マッチング情報を基に、第２パターン画像Ｇ３と測定画像Ｇ１とを重畳することによって重畳画像Ｇ４を取得する第４ステップと、を備える。 |
